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4月9日，据台湾“中央社”报道，半导体设备大厂ASML在台湾地区砸重金投资，并针对2纳米晶圆光学量测设备研发制造，向台“经济部”申请A+企业研发补助案。报道指出，ASML申请案将进入实质审查的第二阶段，台“经济部”表示，预估5月召开决审会议拍板通过。